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激光切割机在基板玻璃制程方面的表现

时间:2014-02-20 11:55:22  本站  浏览次数:5684

  激光切割机在基板玻璃制程方面有哪些表现呢?下面来跟小编一起来看看吧。

  常见用于玻璃切割的激光源种类有CO2激光、UV激光以及超快(Ultrafast)激光,其特性比较如表1;其中,目前量产主流是激光切割机中的CO2激光,而超快激光切割虽然品质佳,但是成本相对高昂,目前已有部分业者开始导入量产应用。

  传统玻璃切割是以轮刀直接机械加工达到所欲分割的尺寸,然而轮刀切割最大的问题在于刀具的损耗,尤其面对具有高硬度之强化玻璃的切割,刀具损耗尤为严重;除此之外,机械式的切割方式会产生机械应力,进而造成边缘破损,并且随着基板厚度越来越薄,切割时所造成的各式裂纹快速增多,严重影响切割制程的品质及良率,因此切割后均须搭配后续磨边,以减少边缘裂纹;不过当厚度达0.2毫米以下之超薄玻璃时,由于素材相对脆弱,利用机械来切割或磨边的方式,将随着力量施予的作用范围过于狭小而难以有效控制,因此须逐渐导入激光制程来解决相关问题。